|
Физическое материаловедение
Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0
В. С. Сыпченко, Ван Цайлунь, Н. Н. Никитенков, Ю. И. Тюрин, Т. И. Сигфуссон, Е. С. Киселева Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Аннотация:
Работа посвящена взаимодействию пленки оксида алюминия, нанесенной на технически чистый титан марки ВТ1-0 методом магнетронного реактивного напыления, с водородсодержащей атмосферой. Время выдержки данной системы в водородсодержащей атмосфере составляло 1–4 h при прочих неизменных параметрах. Получены данные по распределению водорода по глубине (толщине пленки) и его содержанию в тонкопленочной системе, выявлено влияние времени выдержки в водородной атмосфере на адгезию коэффициент трения пленки, определена поверхностная электропроводность и распределение водорода в пленке оксида алюминия.
Поступила в редакцию: 22.01.2018
Образец цитирования:
В. С. Сыпченко, Ван Цайлунь, Н. Н. Никитенков, Ю. И. Тюрин, Т. И. Сигфуссон, Е. С. Киселева, “Влияние водородной атмосферы на свойства пленки оксида алюминия на титане BT1-0”, ЖТФ, 89:4 (2019), 562–566; Tech. Phys., 64:4 (2019), 518–522
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5642 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i4/p562
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 59 | PDF полного текста: | 19 |
|