Зависимость наклона текстуры и эффективности возбуждения сдвиговых волн пленками ZnO от давления рабочего газа в магнетронной системе на постоянном токе

Для пленок ZnO толщиной $\sim$0.45 – 1.2 $\mu$m, синтезируемых в планарной магнетронной системе на постоянном токе в сдвиговой геометрии осаждения, исследована зависимость угла наклона текстуры и эффективности возбуждения сдвиговых волн от давления рабочего газа в диапазоне 0.14 – 0.74 mTorr, при котором происходит переход режима осаждения из бесстолкновительного в близкий к диффузному. Показано, что увеличение давления с $\sim$0.14 – 0.24 до 0.74 mTorr приводит к уменьшению угла наклона столбчатой текстуры с $\sim$25 – 27 до $\sim$7$^\circ$ и снижению эффективности возбуждения звука. Пленки, синтезированные при давлениях $\sim$0.14 – 0.24 mTorr, близких к границе перехода разряда от таунсендсовского к тлеющему, характеризуются наилучшей эффективностью возбуждения сдвиговых волн – наблюдается наименьшая величина вносимых потерь при толщинах 0.45 – 0.75 $\mu$m, число наблюдаемых эхо-импульсов достигает 20 – 40, что позволяет наблюдать отраженный звук с задержкой до 80 $\mu$s при длине кристалла-звукопровода 10 mm.