Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 5, страницы 731–736
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.05.47476.346-18 (Mi jtf5619) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическое материаловедение

Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода

В. Е. Асадчиков, И. Г. Дьячкова, Д. А. Золотов, Ю. С. Кривоносов, Ф. Н. Чуховский

Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН, Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
PDF полного текста (143 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.05.47476.346-18
Аннотация: Изучены особенности образования и трансформации радиационных дефектов в приповерхностных слоях кремниевых пластин, имплантированных ионами водорода. Используя метод рентгеновской двухкристальной дифрактометрии высокого разрешения, определены значения основных параметров, таких как средняя эффективная толщина $L_{\operatorname{eff}}$ и средняя относительная деформация $\Delta a/a$ легированного слоя в зависимости от дозы имплантации и температуры подложки.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации
Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования в рамках выполнения работ по Государственному заданию ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН.
Поступила в редакцию: 25.09.2018
Исправленный вариант: 25.09.2018
Принята в печать: 23.10.2018
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 5, Pages 680–685
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219050049
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Е. Асадчиков, И. Г. Дьячкова, Д. А. Золотов, Ю. С. Кривоносов, Ф. Н. Чуховский, “Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода”, ЖТФ, 89:5 (2019), 731–736; Tech. Phys., 64:5 (2019), 680–685
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AsaDyaZol19}
\by В.~Е.~Асадчиков, И.~Г.~Дьячкова, Д.~А.~Золотов, Ю.~С.~Кривоносов, Ф.~Н.~Чуховский
\paper Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 5
\pages 731--736
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5619}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.05.47476.346-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=39133806}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 5
\pages 680--685
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219050049}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5619
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i5/p731
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025