|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физическое материаловедение
Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода
В. Е. Асадчиков, И. Г. Дьячкова, Д. А. Золотов, Ю. С. Кривоносов, Ф. Н. Чуховский Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН,
Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
Аннотация:
Изучены особенности образования и трансформации радиационных дефектов в приповерхностных слоях кремниевых пластин, имплантированных ионами водорода. Используя метод рентгеновской двухкристальной дифрактометрии высокого разрешения, определены значения основных параметров, таких как средняя эффективная толщина $L_{\operatorname{eff}}$ и средняя относительная деформация $\Delta a/a$ легированного слоя в зависимости от дозы имплантации и температуры подложки.
Поступила в редакцию: 25.09.2018 Исправленный вариант: 25.09.2018 Принята в печать: 23.10.2018
Образец цитирования:
В. Е. Асадчиков, И. Г. Дьячкова, Д. А. Золотов, Ю. С. Кривоносов, Ф. Н. Чуховский, “Рентгеновская диагностика дефектов микроструктуры кристаллов кремния, облученных ионами водорода”, ЖТФ, 89:5 (2019), 731–736; Tech. Phys., 64:5 (2019), 680–685
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5619 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i5/p731
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 49 | PDF полного текста: | 13 |
|