|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Газы и жидкости
О газоструйном методе осаждения наноструктурных пленок серебра
Н. Ю. Быковa, А. И. Сафоновb, Д. В. Лещевa, С. В. Старинскийb, А. В. Булгаковb a Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
b Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук
Аннотация:
Проведены экспериментальное и теоретическое исследования синтеза тонких пленок серебра методом газоструйного осаждения. При осаждении металла из сверхзвуковой струи паров серебра с несущим газом гелием на кремниевые подложки получены наноструктурные пленки с размером наноструктур 3–30 nm для диапазона температур источника струи 1230–1380 K. Методом прямого статистического моделирования получены данные о газодинамике струи Ag-He при разлете в вакуум (скорость, температура, концентрация, поток частиц на подложку) в зависимости от параметров в источнике (температура пара, расход несущего газа). Определен диапазон оптимальных расходов гелия, когда эффективность газоструйного источника максимальна. Установлено, что наличие фонового газа в камере осаждения при давлении более 1 Pa приводит к уменьшению потока частиц на подложку, и предложен простой способ его оценки. С помощью моделирования определены условия формирования в струе кластеров серебра. Показано, что для экспериментальных режимов осаждения кластеры в струе отсутствуют, а наблюдаемые наноструктуры серебра формируются на поверхности подложки.
Поступила в редакцию: 10.04.2018 Исправленный вариант: 10.04.2018 Принята в печать: 15.12.2018
Образец цитирования:
Н. Ю. Быков, А. И. Сафонов, Д. В. Лещев, С. В. Старинский, А. В. Булгаков, “О газоструйном методе осаждения наноструктурных пленок серебра”, ЖТФ, 89:6 (2019), 830–843; Tech. Phys., 64:6 (2019), 776–789
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5584 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i6/p830
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 11 |
|