Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 7, страницы 984–991
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.07.47785.228-18
(Mi jtf5553)
 

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Теоретическая и математическая физика

Горячая мишень. Физико-химическая модель реактивного распыления

В. И. Шаповалов

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
Аннотация: Получила развитие неизотермическая физико-химическая модель реактивного распыления. Новый вариант модели описывает распыление горячей металлической мишени в смеси аргона и одного реактивного газа. Синтез пленки на всех поверхностях вакуумной камеры задан в форме поверхностной химической реакции. Для математического описания реакции использован основной постулат химической кинетики с учетом уравнения изотермы Ленгмюра и уравнения Аррениуса в неизотермических условиях. Зависимость температуры мишени от плотности тока разряда определена по результатам измерения спектров разряда в ближнем ИК-диапазоне. Для аналитического описания модели предложена система из восьми алгебраических уравнений. С ее помощью выполнен анализ влияния плотности тока и расхода реактивного газа на процесс реактивного распыления горячей титановой мишени в смеси аргон + азот при плотности тока 25–600 A/m$^{2}$. Установлено, что разогрев мишени смещает точки изменения режимов работы мишени в область меньших расходов азота и уменьшает ширину петли гистерезиса по сравнению с холодной мишенью. При этом влияние испарения мишени на процесс начинает проявляться при плотности тока более 400 A/m$^{2}$.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 19-19-00277
Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 19-19-00277).
Поступила в редакцию: 07.06.2018
Исправленный вариант: 28.01.2019
Принята в печать: 07.02.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 7, Pages 926–932
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219070211
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. И. Шаповалов, “Горячая мишень. Физико-химическая модель реактивного распыления”, ЖТФ, 89:7 (2019), 984–991; Tech. Phys., 64:7 (2019), 926–932
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Sha19}
\by В.~И.~Шаповалов
\paper Горячая мишень. Физико-химическая модель реактивного распыления
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 7
\pages 984--991
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5553}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.07.47785.228-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41130823}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 7
\pages 926--932
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219070211}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5553
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i7/p984
  • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024