Научно-технические основы применения наноструктурного материаловедения и наноэлектроники в системах электромеханических преобразователей энергии специального назначения

Рассмотрено современное состояние совершенно нового направления науки – микросистемной электромеханики. Проанализированы широкие спектры его практических применений и перспективы дальнейшего развития. Подробно обсуждены два основных пути создания микро- и наноэлектромеханических преобразователей энергии как базовых элементов микросистемной электромеханики: “сверху вниз” и “снизу вверх”. Описаны основные технологические приемы конструирования базовых функциональных элементов микросистемной электромеханики, охарактеризованы области их применения в традиционной и новой технике (в информационных и компьютерных технологиях, медицине, аэрокосмических и ракетно-артиллерийских системах и т. д.). Рассмотрены некоторые узловые вопросы обобщенного физико-математического моделирования микроминиатюрных и наноэлектромеханических систем (МЭМС и НЭМС). Предложен новый обобщенный подход исследования динамических и энергетических характеристик МЭМС и НЭМС, как сложных динамических систем с бинарно-сопряженными подсистемами. На базе предложенных теоретических принципов и моделей рассмотрены возможности исследования электрофизических характеристик биологических наноструктур.