Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 9, страницы 1412–1419
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.09.48068.43-19 (Mi jtf5520) 		 
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Физика низкоразмерных структур

Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка

К. Н. Орехова, Ю. М. Серов, П. А. Дементьев, Е. В. Иванова, В. А. Кравец, В. П. Усачева, М. В. Заморянская

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (777 kB) Список цитирования (9)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.09.48068.43-19
Аннотация: При исследовании материалов на электронно-зондовых приборах в области действия электронного пучка формируется контаминационная углеводородная пленка, которая оказывает влияние на результаты экспериментов. В настоящей работе исследовано влияние контаминационной пленки, сформированной на диэлектрических образцах с углеродным напылением, на интенсивность катодолюминесценции и рентгеновских характеристических линий излучения. Определен коэффициент поглощения пленки для видимого и УФ диапазонов. Обсуждается механизм формирования пленки при различных параметрах электронного пучка.
Ключевые слова: контаминация, углеводородная пленка, РЭМ, катодолюминесцентный, рентгеноспектральный микроанализ.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00804 мол_а
Исследование выполнено при частичной поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 18-32-00804 мол_а.
Поступила в редакцию: 07.02.2019
Исправленный вариант: 19.03.2019
Принята в печать: 27.03.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 9, Pages 1336–1342
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219090123
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. Н. Орехова, Ю. М. Серов, П. А. Дементьев, Е. В. Иванова, В. А. Кравец, В. П. Усачева, М. В. Заморянская, “Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка”, ЖТФ, 89:9 (2019), 1412–1419; Tech. Phys., 64:9 (2019), 1336–1342
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{OreSerDem19}
\by К.~Н.~Орехова, Ю.~М.~Серов, П.~А.~Дементьев, Е.~В.~Иванова, В.~А.~Кравец, В.~П.~Усачева, М.~В.~Заморянская
\paper Исследование контаминационной пленки, формирующейся под действием электронного пучка
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 9
\pages 1412--1419
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5520}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.09.48068.43-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41130905}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 9
\pages 1336--1342
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219090123}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5520
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i9/p1412
    • Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024