Определение электрофизических параметров полупроводника по измерениям микроволнового спектра импеданса коаксиального зонда

Предложен метод определения электрофизических характеристик полупроводников (концентрации и подвижности свободных носителей заряда, удельной проводимости) по данным измерений микроволнового спектра импеданса коаксиального зонда как функции приложенного постоянного напряжения $U$. Искомые параметры найдены путем решения соответствующей обратной задачи с использованием разработанной ранее теории ближнепольной антенны. Создана компьютерная программа, осуществляющая поиск решения путем минимизации многопараметрической функции невязки по алгоритму Нелдера–Мида. Точность метода проанализирована по результатам моделирования, в котором импеданс предварительно вычислен с учетом полученного профиля концентрации $n(x,U)$ обедненного слоя в окрестности контакта металл–полупроводник. Продемонстрирована возможность диагностики с микронным латеральным разрешением.