|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.
Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения
А. А. Ахсахалян, Д. А. Гаврилин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Б. А. Уласевич, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Описаны экспериментальный стенд и результаты исследований аберраций источников эталонной сферической волны (ИЭСВ) на основе одномодового оптического волокна с субволновой выходной апертурой с использованием оптической части регистрирующей системы (ОЧРС). ИЭСВ и ОЧРС разрабатываются для безэталонного интерферометра с дифракционной волной сравнения. Описаны методики, позволяющие минимизировать ошибки измерений. Разработанные ИЭСВ и ОЧРС обеспечивают субнанометровую точность измерений оптики. Обсуждены возможности повышения точности измерений интерферометра до пикометрового уровня.
Ключевые слова:
интерферометрия, аберрация, дифракционная волна сравнения, оптоволокно.
Поступила в редакцию: 28.03.2019 Исправленный вариант: 28.03.2019 Принята в печать: 15.04.2019
Образец цитирования:
А. А. Ахсахалян, Д. А. Гаврилин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Б. А. Уласевич, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1789–1794; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1698–1703
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5476 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1789
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 62 | PDF полного текста: | 54 |
|