Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be

Рассмотрены эффекты термического воздействия на рентгенооптические характеристики, структуру пленок и переходных областей в многослойных зеркал Mo/Be, оптимизированных на максимум отражения в окрестности длины волны 11.2–11.4 nm при нормальном падении. Температура отжига изменялась в пределах до 300$^\circ$C, время отжига составляло 1 и 4 h. Показано, что в результате термического отжига в течение 1 h в вакууме при температуре 300$^\circ$C наблюдается увеличение коэффициента отражения, однако с увеличением времени отжига до 4 h коэффициент отражения падает. Наблюдается уменьшение размеров кристаллитов в пленках молибдена с одновременной перестройкой профиля переходных областей от экспоненциального к линейному. Период многослойных зеркал не изменялся при всех режимах отжига.