Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1774–1778
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48343.129-19 (Mi jtf5473) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9–11 nm

Д. C. Квашенниковab, С. Ю. Зуевa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, Н. И. Чхалоa, F. Delmottec, E. Meltchakovc

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
c Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, Palaiseau, France
PDF полного текста (138 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48343.129-19
Аннотация: Изучены многослойные зеркала Ag/Y, предназначенные для работы в диапазоне длин волн 9–11 nm. Определены параметры таких зеркал, в частности, толщины переходных слоев. Показана эффективность применения барьерных слоев B$_{4}$C и Si. Показано, что структуры типа Ag/Y и Ag/Y с барьерными слоями B$_{4}$C обладают плохой временной стабильностью свойств. Наибольший измеренный коэффициент отражения на длине волны 9.34 nm составил 18% для структуры типа Ag/Si/Y. Эти же структуры обладают наилучшей временной стабильностью.
Ключевые слова: рентгеновское излучение, многослойные зеркала, периодические зеркала, проекционная литография.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 19-02-00081
17-52-150006
1567
Работа выполнена в рамках государственного задания Института физики микроструктур РАН (тема № 0035-2014-0204). Часть работ поддержана Российским фондом фундаментальных исследований: синтез структур поддержан грантом № 19-02-00081, измерение отражательных характеристик на 0.154 nm – грантом 17-52-150006, рефлектометрические измерения в области мягкого рентгеновского излучения – совместным российско-французским грантом CNRS/РФФИ (PRC2016, № 1567).
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1684–1687
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110161
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. C. Квашенников, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, F. Delmotte, E. Meltchakov, “Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9–11 nm”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1774–1778; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1684–1687
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KvaZuePol19}
\by Д.~C.~Квашенников, С.~Ю.~Зуев, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, Н.~И.~Чхало, F.~Delmotte, E.~Meltchakov
\paper Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9--11 nm
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1774--1778
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5473}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48343.129-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300873}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1684--1687
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110161}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5473
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1774
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:41
    PDF полного текста:17
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024