Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1763–1769
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48341.116-19 (Mi jtf5471) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона

М. М. Барышеваa, С. А. Гарахинa, С. Ю. Зуевa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, М. В. Свечниковa, Р. М. Смертинa, Н. И. Чхалоa, E. Meltchakovb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Laboratoire Charles Fabry, Institut d'Optique Graduate School, Palaiseau, France
PDF полного текста (965 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48341.116-19
Аннотация: Разработаны и изготовлены широкополосные Mo/Si и Mo/Be многослойные зеркала стекового типа для диапазонов длин волн 11.1–13.8, 17–21 и 28–33 nm. Показано, что для таких структур равномерное отражение может быть достигнуто за небольшое число коррекций технологического процесса.
Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические зеркала, стековые структуры, рефлектометр с лазерно-плазменным источником.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций I.1
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00173
17-52-150006
18-32-00671
Работа выполнена в рамках Программы Президиума РАН I.1 “Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом”. Часть работ поддержана Российским фондом фундаментальных исследований: разработка Multifitting поддержана грантом № 18-32-00173, напыление экспериментальных образцов грантом 17-52-150006, измерение коэффициентов отражения на длине волны 0.154 nm – грантом № 18-32-00671.
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1673–1679
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110045
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, E. Meltchakov, “Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1763–1769; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1673–1679
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BarGarZue19}
\by М.~М.~Барышева, С.~А.~Гарахин, С.~Ю.~Зуев, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Р.~М.~Смертин, Н.~И.~Чхало, E.~Meltchakov
\paper Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1763--1769
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5471}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48341.116-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300871}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1673--1679
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110045}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5471
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1763
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:51
    PDF полного текста:21
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024