|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.
Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$
С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация:
Исследованы оптические, механические и термические свойства свободновисящих пленочных структур на основе азотированных силицидов молибдена и циркония. Показано, что азотирование силицидов приводит к существенному повышению термической стойкости пленок. Так, если кристаллизация изначально аморфных пленок MoSi$_{2}$ или ZrSi$_{2}$ наблюдалась при температурах 330–370$^\circ$C, то введение азота в пленку позволило повысить температуру, при которой возможна многочасовая эксплуатация MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$ пленок при нагреве в вакуумных условиях, до 600–700$^\circ$C (по крайней мере при $x\ge$ 0.25, $y\ge$ 1.3). Исследование механической прочности на разрыв показало, что предельная прочность слабо зависит от содержания азота в пленках MoSi$_{2}$N$_{x}$ (0 $\le x\le$ 0.55). Сравнение свойств пленок MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$, полученных магнетронным способом при одинаковом парциальном давлении азота, продемонстрировало, что при близких значениях коэффициента пропускания на длине волны 13.5 nm азотированные пленки ZrSi$_{2}$ более эффективны в качестве защитных покрытий (менее подвержены окислению и более устойчивы к деградации при высоких температурах).
Ключевые слова:
свободновисящие пленочные структуры, азотированные пленки силицидов молибдена и циркония, термическая стойкость, прочность на разрыв.
Поступила в редакцию: 28.03.2019 Исправленный вариант: 28.03.2019 Принята в печать: 15.04.2019
Образец цитирования:
С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1680–1685; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1590–1595
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5458 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1680
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 34 | PDF полного текста: | 14 |
|