Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 11, страницы 1680–1685
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48328.114-19
(Mi jtf5458)
 

Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$

С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
Аннотация: Исследованы оптические, механические и термические свойства свободновисящих пленочных структур на основе азотированных силицидов молибдена и циркония. Показано, что азотирование силицидов приводит к существенному повышению термической стойкости пленок. Так, если кристаллизация изначально аморфных пленок MoSi$_{2}$ или ZrSi$_{2}$ наблюдалась при температурах 330–370$^\circ$C, то введение азота в пленку позволило повысить температуру, при которой возможна многочасовая эксплуатация MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$ пленок при нагреве в вакуумных условиях, до 600–700$^\circ$C (по крайней мере при $x\ge$ 0.25, $y\ge$ 1.3). Исследование механической прочности на разрыв показало, что предельная прочность слабо зависит от содержания азота в пленках MoSi$_{2}$N$_{x}$ (0 $\le x\le$ 0.55). Сравнение свойств пленок MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$, полученных магнетронным способом при одинаковом парциальном давлении азота, продемонстрировало, что при близких значениях коэффициента пропускания на длине волны 13.5 nm азотированные пленки ZrSi$_{2}$ более эффективны в качестве защитных покрытий (менее подвержены окислению и более устойчивы к деградации при высоких температурах).
Ключевые слова: свободновисящие пленочные структуры, азотированные пленки силицидов молибдена и циркония, термическая стойкость, прочность на разрыв.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-42-520007
19-07-00173
Работа выполнена с использованием оборудования центра коллективного пользования “Физика и технология микро- и наноструктур” Института физики микроструктур РАН при поддержки грантов Российского фонда фундаментальных исследований (проектов № 18-42-520007 и № 19-07-00173).
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 11, Pages 1590–1595
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110306
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$”, ЖТФ, 89:11 (2019), 1680–1685; Tech. Phys., 64:11 (2019), 1590–1595
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZueLopLuc19}
\by С.~Ю.~Зуев, А.~Я.~Лопатин, В.~И.~Лучин, Н.~Н.~Салащенко, Д.~А.~Татарский, Н.~Н.~Цыбин, Н.~И.~Чхало
\paper Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 11
\pages 1680--1685
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5458}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.11.48328.114-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300858}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 11
\pages 1590--1595
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219110306}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5458
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i11/p1680
  • Эта публикация цитируется в следующих 5 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:48
    PDF полного текста:21
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024