Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2019, том 89, выпуск 12, страницы 1836–1842
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.12.48479.137-19 (Mi jtf5427) 		 
Эта публикация цитируется в 12 научных статьях (всего в 12 статьях)

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов

Н. А. Дюжевa, Г. Д. Деминa, Н. А. Филипповa, И. Д. Евсиковa, П. Ю. Глаголевa, М. А. Махибородаa, Н. И. Чхалоb, Н. Н. Салащенкоb, С. В. Филипповc, А. Г. Колоськоc, Е. О. Поповc, В. А. Беспаловa

a Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (878 kB) Список цитирования (12)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2019.12.48479.137-19
Аннотация: Обсуждены технологические перспективы создания системы микрофокусных рентгеновских трубок с применением кремниевых автоэмиссионных нанокатодов. Проведен численный анализ автоэмиссионного тока с наноразмерного полупроводникового катода, регулируемого напряжением на сеточном электроде, на основе чего предложена схема управления элементами матрицы автоэмиссионных катодных узлов. Измерены вольт-амперные характеристики кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, которые демонстрируют хорошее согласие с предполагаемыми теоретическими оценками автоэмиссионного тока. Проведен полный технологический цикл разработки элементов микрофокусных рентгеновских трубок – набора автоэмиссионных катодных узлов и набора анодных узлов. Полученные результаты могут быть использованы при создании систем микрофокусных рентгеновских трубок для нанолитографического оборудования нового поколения.
Ключевые слова: автоэлектронная эмиссия, мягкое рентгеновское излучение, матрица автоэмиссионных катодных узлов, микрофокусная рентгеновская трубка, кремниевые полевые нанокатоды.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 14.578.21.0250
Работа выполнена коллективом авторов, в который входят Н.А. Дюжев, Г.Д. Демин, Н.А. Филиппов, И.Д. Евсиков, П.Ю. Глаголев, М.А. Махиборода, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, с использованием оборудования Центра коллективного пользования “Микросистемная техника и электронная компонентная база” Национального исследовательского университета “Московский институт электронной техники”, поддержанного Минобрнауки России, при поддержке Минобрнауки России в рамках работ по проекту 14.578.21.0250, RFMEFI57817X0250 с использованием Центра НТИ “Сенсорика”.
Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2019, Volume 64, Issue 12, Pages 1742–1748
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219120053
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. А. Дюжев, Г. Д. Демин, Н. А. Филиппов, И. Д. Евсиков, П. Ю. Глаголев, М. А. Махиборода, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, С. В. Филиппов, А. Г. Колосько, Е. О. Попов, В. А. Беспалов, “Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов”, ЖТФ, 89:12 (2019), 1836–1842; Tech. Phys., 64:12 (2019), 1742–1748
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DjuDemFil19}
\by Н.~А.~Дюжев, Г.~Д.~Демин, Н.~А.~Филиппов, И.~Д.~Евсиков, П.~Ю.~Глаголев, М.~А.~Махиборода, Н.~И.~Чхало, Н.~Н.~Салащенко, С.~В.~Филиппов, А.~Г.~Колосько, Е.~О.~Попов, В.~А.~Беспалов
\paper Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов
\jour ЖТФ
\yr 2019
\vol 89
\issue 12
\pages 1836--1842
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5427}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2019.12.48479.137-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41848216}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2019
\vol 64
\issue 12
\pages 1742--1748
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784219120053}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5427
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v89/i12/p1836
    • Эта публикация цитируется в следующих 12 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:70
    PDF полного текста:35
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024