Самоорганизация размерного и концентрационного разнообразия в кластеризованной структуре пленок CN$_{x}$ : Eu$_{y}$O$_{z}$

Проанализирована атомная структура алмазоподобных пленок CN$_{x}$ : Eu$_{y}$O$_{z}$, полученных методом ионно-плазменного сораспыления комбинированной углерод-металлооксидной мишени в азотной атмосфере. Показано, что в объеме рабочей плазмы происходят процессы самоорганизации компонентов мишени и атмосферы с сильным химическим взаимодействием оксида европия и углерода в виде твердотельных реакций замещения с образованием комплексов типа CN$_{x}$ : Eu$_{y}$O$_{z}$, что проявляется в группах мелких кластеров растущей пленки. Установлено, что в образце, выращенном при промежуточном давлении рабочего газа, образовалась уникальная наиболее равномерно перемешанная структура, заполненная разнообразными кластерами.