|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Физическая электроника
Структурные свойства углеродных пленок, полученных методом ионно-стимулированного импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота
И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, Н. Ф. Савченко, С. В. Дворяк, А. В. Павликов Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Аннотация:
Углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота, были исследованы при помощи КР-спектроскопии, электронной дифракции и РФЭС. Согласно полученным данным, азот эффективно встраивается в структуру материала, что приводит к формированию ориентированных графитовых нанокластеров, доля которых растет с увеличением энергии стимуляции.
Ключевые слова:
аморфный углерод, тонкие пленки, ионная стимуляция, КР-спектроскопия, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия.
Поступила в редакцию: 05.06.2019 Исправленный вариант: 21.09.2019 Принята в печать: 25.09.2019
Образец цитирования:
И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, Н. Ф. Савченко, С. В. Дворяк, А. В. Павликов, “Структурные свойства углеродных пленок, полученных методом ионно-стимулированного импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота”, ЖТФ, 90:3 (2020), 489–493; Tech. Phys., 65:3 (2020), 468–472
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5369 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i3/p489
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 60 | PDF полного текста: | 30 |
|