Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 3, страницы 419–426
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.03.48925.431-18 (Mi jtf5357) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическое материаловедение

Латеральные неоднородности сапфировых пластин по данным рентгеновских и зондовых методов

В. Е. Асадчиковa, А. Е. Благовab, А. В. Буташинa, Ю. О. Волковa, А. Н. Дерябинa, В. М. Каневскийa, А. Э. Муслимовa, А. И. Проценкоab, Б. С. Рощинa, А. В. Таргонскийab, Ф. Н. Чуховскийa

a Институт кристаллографии им. А. В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
b Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
PDF полного текста (576 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.03.48925.431-18
Аннотация: Методами рентгеновской дифрактометрии, рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой микроскопии и склерометрии были исследованы пластины $R$-среза монокристаллов сапфира, выращенных методом Киропулоса и применяемых в качестве подложек для структур кремний-на-сапфире. Установлено, что даже в пределах одной пластины встречаются области с различной степенью совершенства кристаллической структуры. Показано, что результаты четырех методов исследования, построенных на различных физических принципах, находятся в хорошем соответствии и позволяют выявить области несовершенства структуры материала на поверхности пластины. Обоснована целесообразность осуществления комплексного контроля параметров пластин в нескольких областях для снижения брака при применении их в качестве подложек для изготовления электронных устройств.
Ключевые слова: $R$-срез сапфира, рентгеновская дифрактометрия, рентгеновская рефлектометрия, атомно-силовая микроскопия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 18-29-12099 МК
Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант 18-29-12099 МК) в части “расплавной кристаллизации сапфира” и Министерства науки и высшего образования РФ в рамках выполнения работ по Государственному заданию ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН в части “получения исследовательских образцов со сверхгладкой поверхностью и характеризации дефектной структуры кристаллов”.
Поступила в редакцию: 13.12.2018
Исправленный вариант: 11.07.2019
Принята в печать: 16.09.2019
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 3, Pages 400–406
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220030020
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. Е. Асадчиков, А. Е. Благов, А. В. Буташин, Ю. О. Волков, А. Н. Дерябин, В. М. Каневский, А. Э. Муслимов, А. И. Проценко, Б. С. Рощин, А. В. Таргонский, Ф. Н. Чуховский, “Латеральные неоднородности сапфировых пластин по данным рентгеновских и зондовых методов”, ЖТФ, 90:3 (2020), 419–426; Tech. Phys., 65:3 (2020), 400–406
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AsaBlaBut20}
\by В.~Е.~Асадчиков, А.~Е.~Благов, А.~В.~Буташин, Ю.~О.~Волков, А.~Н.~Дерябин, В.~М.~Каневский, А.~Э.~Муслимов, А.~И.~Проценко, Б.~С.~Рощин, А.~В.~Таргонский, Ф.~Н.~Чуховский
\paper Латеральные неоднородности сапфировых пластин по данным рентгеновских и зондовых методов
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 3
\pages 419--426
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5357}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.03.48925.431-18}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42747709}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 3
\pages 400--406
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220030020}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5357
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i3/p419
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025