|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физические приборы и методы эксперимента
Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира
М. Н. Тороповa, А. А. Ахсахалянa, М. В. Зоринаa, Н. Н. Салащенкоa, Н. И. Чхалоa, Ю. М. Токуновb a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), Московская облаcть, г. Долгопрудный
Аннотация:
Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки–полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm ($\sim\lambda$/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025–65 $\mu$m$^{-1}$ $\sigma_{\operatorname{eff}}$ = 1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm ($\sim\lambda$/200) и $\sigma_{\operatorname{eff}}$ = 0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки.
Ключевые слова:
притир, шлифовка–полировка, шероховатость, сферическая подложка.
Поступила в редакцию: 12.04.2020 Исправленный вариант: 12.04.2020 Принята в печать: 12.04.2020
Образец цитирования:
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ю. М. Токунов, “Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1958–1964; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5168 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1958
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 50 | PDF полного текста: | 28 |
|