|
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическая электроника
Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии
И. Д. Евсиков, С. В. Митько, П. Ю. Глаголев, Н. А. Дюжев, Г. Д. Демин Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Аннотация:
Методом атомно-силовой микроскопии экспериментально рассмотрены особенности полевой эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода острийного типа в квазивакуумную (воздушную) среду. В бесконтактном режиме работы атомно-силового микроскопа измерены вольт-амперные характеристики одиночного катода с нанометровым радиусом закругления вершины при расстояниях 10 и 20 nm между вершиной катода и вершиной измерительного зонда. Проведено моделирование распределения электрических полей как на поверхности вершины одиночного катода, так и на поверхности вершин отдельно взятых катодов в составе массива, на основе которого сделана теоретическая оценка фактора усиления электрического поля в зависимости от расстояния “катод-зонд”. Показано, что фактор усиления поля, рассчитанный из экспериментальных ВАХ в координатах Фаулера–Нордгейма, на несколько порядков превышает величину, полученную из теоретических расчетов, что указывает на необходимость учета дополнительных квантово-размерных эффектов, играющих важную роль в формировании тока эмиссии электронов в наноразмерном зазоре.
Ключевые слова:
полевая эмиссия, атомно-силовая микроскопия, кремниевые полевые нанокатоды, коэффициент усиления поля.
Поступила в редакцию: 16.04.2020 Исправленный вариант: 16.04.2020 Принята в печать: 16.04.2020
Образец цитирования:
И. Д. Евсиков, С. В. Митько, П. Ю. Глаголев, Н. А. Дюжев, Г. Д. Демин, “Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1931–1937; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1846–1852
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5164 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1931
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 58 | PDF полного текста: | 49 |
|