Микроструктура переходных границ в многослойных Мо/Ве-системах

Методами рентгеновской рефлекто- и дифрактометрии и EXAFS-спектроскопии исследована микроструктура Мо/Ве многослойных периодических систем. Установлено, что в Мо/Ве-системе на границах образуются перемешанные зоны разного состава. На границе Мо-на-Ве – перемешанная зона, схожая по составу с МоВе$_{22}$, а на границе Ве-на-Мо – с МоВе$_{2}$. В результате термического отжига в течение 1 h структура переходных границ в многослойной системе остается стабильной. При дальнейшем отжиге происходят диффузионные процессы, которые приводят к образованию другого соединения на границе раздела – МоВе$_{2}$ вместо МоВе$_{22}$, однако период структуры при этом остается неизменным. Такое поведение объясняет рост коэффициента отражения Мо/Ве-зеркал после отжига в течение 1 h и дальнейшее падение коэффициента отражения при большем времени отжига.