Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1864–1869
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49976.130-20 (Mi jtf5154) 		 
XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физика низкоразмерных структур

Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar

С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (1084 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49976.130-20
Аннотация: Описан метод увеличения эффективности голографических дифракционных решеток (ГДР), предназначенных для рентгеновского диапазона длин волн. Описана процедура обработки поверхности ГДР пучком ускоренных ионов с целью понижения амплитуды и шероховатости штрихов. Для понижения амплитуды штриха применялись ионы Xe с энергией 600 eV, для ионной полировки – ионы Ar с энергией 800 eV. Показано увеличение дифракционной эффективности решетки на длине волны 4.47 nm почти в 4 раза после ионной полировки.
Ключевые слова: дифракционная решетка, монохроматор Черни–Тернера, ЭУФ диапазон длин волн, ионная полировка поверхности, атомно-силовая микроскопия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 20-02-00708
19-32-90154
18-02-00588
18-07-00633
Работа выполнена в рамках выполнения государственного задания № 0035-2014-0204 и при поддержке грантов РФФИ № 20-02-00708, 19-32-90154, 18-02-00588 и 18-07-00633, с использованием оборудования ЦКП “Физика и технологии микро- и наноструктур” при ИФМ РАН.
Поступила в редакцию: 13.04.2020
Исправленный вариант: 13.04.2020
Принята в печать: 13.04.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1780–1785
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110110
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1864–1869; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1780–1785
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GarZorZue20}
\by С.~А.~Гарахин, М.~В.~Зорина, С.~Ю.~Зуев, М.~С.~Михаленко, А.~Е.~Пестов, Р.~С.~Плешков, В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, Н.~И.~Чхало
\paper Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1864--1869
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5154}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49976.130-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588715}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1780--1785
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110110}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5154
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1864
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:43
    PDF полного текста:15
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024