Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1830–1837
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49970.110-20 (Mi jtf5148) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Твердое тело

Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире

Л. А. Фоминa, И. В. Маликовa, В. А. Березинa, А. В. Черныхa, А. Б. Логиновb, Б. А. Логиновc

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
b Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
c Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
PDF полного текста (2054 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49970.110-20
Аннотация: Проведены исследования поверхности и электронно-транспортных свойств эпитаксиальных тонких пленок молибдена. Экспериментальные результаты сравнивались c известными квантовыми моделями влияния рельефа поверхности пленок на их сопротивление.
Ключевые слова: эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, межсоединения, шероховатая поверхность, атомно-силовая микроскопия.
Поступила в редакцию: 01.04.2020
Исправленный вариант: 01.04.2020
Принята в печать: 01.04.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 11, Pages 1748–1754
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220110080
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин, А. В. Черных, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов, “Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1830–1837; Tech. Phys., 65:11 (2020), 1748–1754
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FomMalBer20}
\by Л.~А.~Фомин, И.~В.~Маликов, В.~А.~Березин, А.~В.~Черных, А.~Б.~Логинов, Б.~А.~Логинов
\paper Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 11
\pages 1830--1837
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5148}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49970.110-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44588708}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 11
\pages 1748--1754
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220110080}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5148
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i11/p1830
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:45
    PDF полного текста:25
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024