Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2020, том 90, выпуск 12, страницы 1971–1994
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2020.12.50112.38-20
(Mi jtf5116)
 

Эта публикация цитируется в 27 научных статьях (всего в 27 статьях)

Обзоры

Механизмы возникновения напряжений в тонких пленках и покрытиях

А. Р. Шугуров, А. В. Панин

Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
Аннотация: Проведен анализ литературных данных, посвященных причинам развития механических напряжений в эпитаксиальных, поликристаллических и аморфных пленках в процессе их формирования и при различных внешних воздействиях. Описан механизм возникновения внутренних напряжений при гетероэпитаксиальном росте пленок, обусловленных несоответствием постоянных кристаллических решеток пленки и подложки. Показана взаимосвязь между развитием напряжений несоответствия в гетероэпитаксиальных пленках и изменением характера их роста. Рассмотрены модели возникновения сжимающих и растягивающих напряжений в поликристаллических пленках вследствие формирования и коалесценции островков на начальной стадии их роста. Обсуждаются закономерности эволюции внутренних напряжений в сплошных пленках в зависимости от условий их осаждения, а также их химического состава, структуры и механических свойств. Рассмотрены механизмы развития внутренних напряжений в тонких пленках, связанных с образованием в них точечных дефектов, внедрением примесей и фазовыми превращениями, происходящими в процессе осаждения. Подробно рассмотрены внешние факторы, приводящие к возникновению напряжений в тонких пленках в процессе их хранения и эксплуатации.
Ключевые слова: тонкие пленки, покрытия, напряжения, дефекты.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации III.23.1.3
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФПМ СО РАН, проект III.23.1.3.
Поступила в редакцию: 31.01.2020
Исправленный вариант: 25.03.2020
Принята в печать: 03.05.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2020, Volume 65, Issue 12, Pages 1881–1904
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784220120257
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Р. Шугуров, А. В. Панин, “Механизмы возникновения напряжений в тонких пленках и покрытиях”, ЖТФ, 90:12 (2020), 1971–1994; Tech. Phys., 65:12 (2020), 1881–1904
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShuPan20}
\by А.~Р.~Шугуров, А.~В.~Панин
\paper Механизмы возникновения напряжений в тонких пленках и покрытиях
\jour ЖТФ
\yr 2020
\vol 90
\issue 12
\pages 1971--1994
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5116}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2020.12.50112.38-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44367582}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2020
\vol 65
\issue 12
\pages 1881--1904
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784220120257}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5116
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v90/i12/p1971
  • Эта публикация цитируется в следующих 27 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:102
    PDF полного текста:64
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024