|
Электрофизика
Компактный ускоритель ионов для ионно-лучевых технологий
С. Ф. Белыхa, А. Д. Беккерманb, Д. А. Богуславскийc, А. Б. Толстогузовdef a Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
b Shhulich Faculty of Chemistry, Technion – Israel Institute of Technology, Haifa 32000 Haifa, Israel
c IB Labs Inc., 137 West End Ave, Brooklyn, NY, 11235 New York, USA
d Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, 2829-516 Caparica, Portugal
e Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
f School of Physics and Technology, Wuhan University,
430072 Wuhan, China
Аннотация:
Предложены пути разработки и конструирования простого в изготовлении и компактного ускорителя положительных ионов металлов с разной кратностью заряда в диапазоне энергий 1–500 keV. Такой ускоритель будет пригоден для проведения исследований и прикладных работ в области передовых ионно-лучевых технологий. Компьютерное моделирование траекторий движения ионных пучков в ускорителе с использованием программного кода SIMION 8.0 подтвердило перспективность предлагаемого подхода.
Ключевые слова:
ускорители, многозарядные ионы, имплантация, ионно-лучевые технологии, компьютерное моделирование, переходные и редкоземельные металлы.
Поступила в редакцию: 09.05.2020 Исправленный вариант: 30.06.2020 Принята в печать: 30.06.2020
Образец цитирования:
С. Ф. Белых, А. Д. Беккерман, Д. А. Богуславский, А. Б. Толстогузов, “Компактный ускоритель ионов для ионно-лучевых технологий”, ЖТФ, 91:1 (2021), 120–124; Tech. Phys., 66:1 (2021), 113–117
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5108 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i1/p120
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 47 | PDF полного текста: | 36 |
|