|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Физическая электроника
Профильный анализ пленок ферритов-гранатов методом оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда
А. А. Федоренко, В. Н. Бержанский, А. В. Каравайников, А. Н. Шапошников, А. Р. Прокопов Крымский федеральный университет имени В. И. Вернадского, г. Симферополь
Аннотация:
Представлены результаты экспериментов по применению метода оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда для профильного анализа вакуумно-осажденных одно- и двуслойных пленок многокомпонентных ферритов-гранатов различного состава до и после кристаллизационного отжига. Выявлено наличие внутренних и внешних переходных слоев, и исследована модификация их элементного состава при кристаллизации и различной последовательности синтеза отдельных компонент в феррит-гранатовых гетероструктурах.
Ключевые слова:
оптическая эмиссионная спектроскопия тлеющего разряда, профильный анализ, пленки ферритов-гранатов.
Поступила в редакцию: 24.05.2020 Исправленный вариант: 19.08.2020 Принята в печать: 21.08.2020
Образец цитирования:
А. А. Федоренко, В. Н. Бержанский, А. В. Каравайников, А. Н. Шапошников, А. Р. Прокопов, “Профильный анализ пленок ферритов-гранатов методом оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда”, ЖТФ, 91:2 (2021), 352–357; Tech. Phys., 66:2 (2021), 343–348
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf5090 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i2/p352
|
|