Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 2, страницы 299–307
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.02.50366.180-20 (Mi jtf5084) 		 
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Физика низкоразмерных структур

Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом

А. Е. Городецкийa, А. В. Маркинa, В. Л. Буховецa, В. И. Золотаревскийa, Р. Х. Залавутдиновa, Н. А. Бабиновb, А. М. Дмитриевb, А. Г. Раздобаринb, Е. Е. Мухинb

a Институт физической химии и электрохимии им. А. Н. Фрумкина РАН, г. Москва
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (1401 kB) Список цитирования (6)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.02.50366.180-20
Аннотация: Исследовано влияние высокочастотного разряда на изменение топографии поверхности оптического кварца КУ-1 и пропускание видимого света (400–1000 nm). Рабочими газами разряда являлись D$_2$ и смесь D$_2$/N$_2$, в которой доля N$_2$ составляла 25 mol.%. Добавление азота увеличивало скорость распыления с 60 до 300 nm/h при сохранении стехиометрии поверхностных слоев. После экспозиции в плазме среднеквадратичная шероховатость поверхности уменьшалась с 1.3 до 0.6 nm. Прозрачность кварца не изменилась. Анализ шероховатости и расчет диффузного рассеяния света с длиной волны 400 nm, прошедшего сквозь кварц, выполнены с использованием функций спектральной плотности мощности.
Ключевые слова: кварц КУ-1, высокочастотный разряд, дейтерий, азот, атомно-силовая микроскопия, PSD-функция, пропускание света.
Поступила в редакцию: 25.05.2020
Исправленный вариант: 24.07.2020
Принята в печать: 11.08.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2021, Volume 66, Issue 2, Pages 288–297
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784221020122
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Е. Городецкий, А. В. Маркин, В. Л. Буховец, В. И. Золотаревский, Р. Х. Залавутдинов, Н. А. Бабинов, А. М. Дмитриев, А. Г. Раздобарин, Е. Е. Мухин, “Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом”, ЖТФ, 91:2 (2021), 299–307; Tech. Phys., 66:2 (2021), 288–297
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GorMarBuk21}
\by А.~Е.~Городецкий, А.~В.~Маркин, В.~Л.~Буховец, В.~И.~Золотаревский, Р.~Х.~Залавутдинов, Н.~А.~Бабинов, А.~М.~Дмитриев, А.~Г.~Раздобарин, Е.~Е.~Мухин
\paper Топография поверхности и пропускание света кварцевыми окнами после экспозиции в высокочастотном разряде в дейтерии и смеси дейтерия с азотом
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 2
\pages 299--307
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5084}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.02.50366.180-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44885097}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2021
\vol 66
\issue 2
\pages 288--297
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784221020122}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85101874010}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5084
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i2/p299
    • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024