Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 4, страницы 657–663
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.04.50630.271-20
(Mi jtf5042)
 

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физика низкоразмерных структур

Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек

С. Д. Полетаевab, А. И. Любимовc

a Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Самара, Россия, г. Самара
b Самарский национальный исследовательский университет имени академика С. П. Королева
c ФГУП «НПО "Государственный институт прикладной оптики"», г. Казань
Аннотация: Представлены теоретические и экспериментальные результаты по реактивно-ионному травлению массивных подложек во фреоне-14 с высокочастотным (ВЧ) смещением на нижнем электроде. Предложена гипотеза, согласно которой крупногабаритная подложка нарушает согласование нижнего электрода с ВЧ генератором за счет внесения дополнительной реактивной составляющей в импеданс нижнего электрода. Проведено численное моделирование реактивно-ионного травления с подложками различных габаритов в среде CF$_{4}$. Результаты моделирования показали значительный рост реактивной составляющей ВЧ мощности на нижнем электроде, если диаметр подложки превышает 50% диаметра нижнего электрода, что согласуется с предложенной гипотезой. Экспериментально показано, что при травлении массивных подложек нарушается согласование нижнего электрода с ВЧ генератором. Разработана специальная конструкция подложкодержателя для массивных подложек. Показано, что такой подложкодержатель существенно улучшает согласование ВЧ генератора с нижним электродом, особенно при добавлении в плазмообразующую смесь аргона в количестве 0.3–0.9 l/h.
Ключевые слова: дифракционный микрорельеф, реактивно-ионное травление, метод конечных элементов, импеданс, подложкодержатель, высокочастотный индукционный разряд, нижний электрод, реактивная мощность.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 007-ГЗ/43363/26
Государственный институт прикладной оптики 08/2017
Работа выполнена в рамках госзадания “Кристаллография и фотоника” РАН/ (соглашение № 007-ГЗ/43363/26) и договора о НИР № 08/2017 (заказчик НПО “Государственный институт прикладной оптики”).
Поступила в редакцию: 18.09.2020
Исправленный вариант: 05.11.2020
Принята в печать: 18.11.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2021, Volume 66, Issue 12, Pages 1294–1300
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784221040150
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. Д. Полетаев, А. И. Любимов, “Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек”, ЖТФ, 91:4 (2021), 657–663; Tech. Phys., 66:12 (2021), 1294–1300
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolLyu21}
\by С.~Д.~Полетаев, А.~И.~Любимов
\paper Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 4
\pages 657--663
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5042}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.04.50630.271-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46465973}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2021
\vol 66
\issue 12
\pages 1294--1300
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784221040150}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85126785702}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5042
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i4/p657
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024