Структурные свойства и состав графитоподобных углеродных пленок, полученных импульсным лазерным испарением

Исследованы структура и состав графитоподобных углеродных пленок, полученных методом импульсного лазерного осаждения в атмосфере инертного газа с использованием сублимируемых углеродных лент. Полученные пленки были изучены с помощью рентгеновской дифракции, фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Рентгеноструктурный анализ показал, что полученные пленки имеют структуру, характерную для турбостратного углерода и восстановленного оксида графена. Анализ фотоэлектронных спектров позволил сделать вывод о значительном уменьшении содержания кислорода и водорода в полученных пленках по сравнению с материалом мишени, а также о значительном снижении содержания $sp^{3}$-фазы. С использованием спектроскопии комбинационного рассеяния было показано, что углеродные пленки имеют характерные признаки нанокристаллического графита/графена и двумерную (турбостратную) структуру с характерными размерами $sp^{2}$-кристаллитов порядка 15–18 nm в зависимости от плотности энергии лазерного импульса.