Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 5, страницы 827–831
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.05.50696.276-20 (Mi jtf5020) 		 
Фотоника

Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения

М. Ф. Панов, М. В. Павлова

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
PDF полного текста (274 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.05.50696.276-20
Аннотация: Разработана методика определения толщин после получения одно- и многослойных карбидкремниевых структур методом частотного анализа спектра инфракрасного отражения, на форму которого влияет спектральная интерференция в слоях и группах слоев. Анализ спектра выполнен в программном пакете LabView. Представлены результаты, полученные как для модельных структур, расчетный спектр отражения которых определялся с использованием диэлектрической функции, учитывавшей реакцию колебаний решетки и свободных носителей заряда, так и для экспериментальных спектров реальных многослойных структур приборов силовой электроники.
Ключевые слова: слой, отражение, интерференция, спектр.
Поступила в редакцию: 22.09.2020
Исправленный вариант: 03.12.2020
Принята в печать: 07.12.2020
Англоязычная версия:
Technical Physics, 2021, Volume 66, Issue 6, Pages 779–783
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784221050182
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. Ф. Панов, М. В. Павлова, “Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения”, ЖТФ, 91:5 (2021), 827–831; Tech. Phys., 66:6 (2021), 779–783
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PanPav21}
\by М.~Ф.~Панов, М.~В.~Павлова
\paper Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 5
\pages 827--831
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf5020}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.05.50696.276-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46466580}
\transl
\jour Tech. Phys.
\yr 2021
\vol 66
\issue 6
\pages 779--783
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063784221050182}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85124755211}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf5020
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i5/p827
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:61
    PDF полного текста:32
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024