|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Твердотельная электроника
Мощные СВЧ-фотодиоды на основе гетероструктур InAlAs/InGaAs, синтезируемых методом молекулярно-лучевой эпитаксии
К. С. Журавлевab, А. М. Гилинскийa, И. Б. Чистохинa, Н. А. Валишеваa, Д. В. Дмитриевa, А. И. Тороповa, М. С. Аксеновab, А. Л. Чижc, К. Б. Микитчукc a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
c Государственное научно-производственное объединение "Оптика, оптоэлектроника и лазерная техника", г. Минск
Аннотация:
Описаны конструкция и технологии изготовления мощных СВЧ-мезафотодиодов с барьером Шоттки диаметром от 10 до 40 $\mu$m и обратной засветкой через подложку на основе гетероструктур InAlAs/InGaAs/InP, выращиваемых методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Рабочая частота фотодиодов диаметром 10 $\mu$m составляет 40 GHz, а максимальная выходная СВЧ-мощность на частоте 20 GHz для фотодиодов диаметром 15 $\mu$m достигает 58 mW. Коэффициент амплитудно-фазового преобразования составил 1.5 rad/W, что превосходит литературные данные и делает данную конструкцию фотодиодов перспективной для применения в системах генерации и передачи аналоговых СВЧ-сигналов с высокими требованиями к фазовым шумам.
Ключевые слова:
мощные СВЧ-фотодиоды, гетероструктуры InAlAs/InGaAs, барьер Шоттки, планарная технология.
Поступила в редакцию: 16.12.2020 Исправленный вариант: 24.02.2021 Принята в печать: 01.03.2021
Образец цитирования:
К. С. Журавлев, А. М. Гилинский, И. Б. Чистохин, Н. А. Валишева, Д. В. Дмитриев, А. И. Торопов, М. С. Аксенов, А. Л. Чиж, К. Б. Микитчук, “Мощные СВЧ-фотодиоды на основе гетероструктур InAlAs/InGaAs, синтезируемых методом молекулярно-лучевой эпитаксии”, ЖТФ, 91:7 (2021), 1158–1163; Tech. Phys., 66:9 (2021), 1072–1077
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4977 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i7/p1158
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 94 | PDF полного текста: | 68 |
|