Зависимость механических и трибологических свойств $\alpha$-C : H : SiO$_{x}$-пленок от амплитуды напряжения смещения подложки

Проведена модификация поверхности нержавеющей стали марки AISI 316L нанесением $\alpha$-C : H : SiO$_{x}$-пленки методом ассистированного плазмой химического газофазного осаждения с использованием импульсного биполярного напряжения смещения подложки. Механические свойства пленки и поверхности стали AISI 316L исследовались методом наноиндентирования, а трибологические испытания проводили с помощью трибометра в геометрии шар-диск. Выявлена оптимальная величина амплитуды отрицательного импульса биполярного напряжения смещения, при которой $\alpha$-C : H : SiO$_{x}$-пленка обладает высокой твердостью (19 $\pm$ 2 GPa), что в 3.5 раза больше, чем твердость поверхности стали AISI 316L (5.5 $\pm$ 0.1 GPa). При этом пленка имела низкий коэффициент трения (0.08), что в 9 раз меньше, чем у стали (0.72), а величина скорости износа составляла 8.5 $\cdot$ 10$^{-7}$ и 3.7 $\cdot$ 10$^{-5}$ mm$^3$ $\cdot$ N$^{-1}$ $\cdot$ m$^{-1}$ соответственно. Структура и состав полученных пленок исследованы методом рамановской спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии.