Трибологические исследования слоев $\alpha$-$\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ в паре с сапфировым контртелом

Рассмотрена износостойкость эпитаксиальных слоев $\alpha$- и $\beta$-полиморфов оксида галлия, выращенных на сапфировых подложках. Это одно из первых исследований трибологических свойств перспективного широкозонного полупроводникового кристалла. В результате проведенных триботестов с участием сапфирового контртела в процессе сухого трения на воздухе показано, что слои метастабильного $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$ более стойки к истиранию, чем слои термостабильной $\beta$-фазы. При этом полученные величины коэффициентов износа позволяют отнести оба полиморфа к износостойким материалам, и особенно $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$ со структурой корунда. Кроме того, $\alpha$- и $\beta$-Ga$_{2}$O$_{3}$ демонстрируют крайне низкие значения коэффициентов трения, ниже, чем таковые у сапфира.