Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 10, страницы 1532–1537
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51367.138-21 (Mi jtf4923) 		 
XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Н. Новгород, 9--12 марта 2021 г.
Физика низкоразмерных структур

Создание функциональных наноструктур под действием ионного облучения

К. Е. Приходькоab, М. М. Дементьеваa

a Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
PDF полного текста (20762 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51367.138-21
Аннотация: Описан разработанный в НИЦ “Курчатовский институт” метод создания различных функциональных наноструктур с использованием ионного облучения широким пучком. В качестве примера продемонстрировано формирование интегрированного сопротивления в нанопроводе, изготовленном из низкотемпературного сверхпроводника NbN. Показана возможность изготовления при комнатной температуре изолирующего слоя оксида алюминия толщиной 15 nm на поверхности алюминия путем его облучения ионами кислорода с энергией 0.2 keV.
Ключевые слова: ионное облучение, тонкие сверхпроводящие пленки NbN, интегрированные криогенные резисторы, создание изолирующих слоев под облучением.
Финансовая поддержка Номер гранта
Национальный исследовательский центр Курчатовский институт 1055
Работа выполнена при поддержке Национального исследовательского центра “Курчатовский институт” (приказ от 02.07.2020 № 1055).
Поступила в редакцию: 08.05.2021
Исправленный вариант: 08.05.2021
Принята в печать: 08.05.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. Е. Приходько, М. М. Дементьева, “Создание функциональных наноструктур под действием ионного облучения”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1532–1537
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PriDem21}
\by К.~Е.~Приходько, М.~М.~Дементьева
\paper Создание функциональных наноструктур под действием ионного облучения
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 10
\pages 1532--1537
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf4923}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51367.138-21}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46491208}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf4923
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i10/p1532
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025