|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Н. Новгород, 9--12 марта 2021 г.
Твердое тело
Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга
Л. А. Фоминa, И. В. Маликовa, В. А. Березинa, А. Э. Рассадинb, А. Б. Логиновc, Б. А. Логиновd a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
b Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Нижний Новгород, Россия
c Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
d Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
Аннотация:
Методами сканирующей туннельной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследован рельеф эпитаксиальных пленок Mo малых толщин, выращенных на $R$-плоскости сапфира. Найдена область параметров модели эволюции рельефа поверхности пленок Кардара–Паризи–Жанга, в которой она соответствует полученным экспериментальным результатам.
Ключевые слова:
эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, шероховатая поверхность, принцип максимума Олейник–Лакса, преобразование Коула–Хопфа.
Поступила в редакцию: 29.04.2021 Исправленный вариант: 29.04.2021 Принята в печать: 29.04.2021
Образец цитирования:
Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин, А. Э. Рассадин, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов, “Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1466–1473; Tech. Phys., 67:2 (2022), 61–68
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4914 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i10/p1466
|
|