Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 2021, том 91, выпуск 10, страницы 1466–1473
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51358.130-21 (Mi jtf4914) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Н. Новгород, 9--12 марта 2021 г.
Твердое тело

Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга

Л. А. Фоминa, И. В. Маликовa, В. А. Березинa, А. Э. Рассадинb, А. Б. Логиновc, Б. А. Логиновd

a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
b Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Нижний Новгород, Россия
c Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
d Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
PDF полного текста (1292 kB) Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51358.130-21
Аннотация: Методами сканирующей туннельной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследован рельеф эпитаксиальных пленок Mo малых толщин, выращенных на $R$-плоскости сапфира. Найдена область параметров модели эволюции рельефа поверхности пленок Кардара–Паризи–Жанга, в которой она соответствует полученным экспериментальным результатам.
Ключевые слова: эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, шероховатая поверхность, принцип максимума Олейник–Лакса, преобразование Коула–Хопфа.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 075-00355-21-00
Работа выполнена при поддержке Государственного задания № 075-00355-21-00.
Поступила в редакцию: 29.04.2021
Исправленный вариант: 29.04.2021
Принята в печать: 29.04.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин, А. Э. Рассадин, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов, “Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1466–1473
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FomMalBer21}
\by Л.~А.~Фомин, И.~В.~Маликов, В.~А.~Березин, А.~Э.~Рассадин, А.~Б.~Логинов, Б.~А.~Логинов
\paper Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара--Паризи--Жанга
\jour ЖТФ
\yr 2021
\vol 91
\issue 10
\pages 1466--1473
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf4914}
\crossref{https://doi.org/10.21883/JTF.2021.10.51358.130-21}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46491199}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf4914
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v91/i10/p1466
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:91
    PDF полного текста:70
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024