|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 11, страницы 172–178
(Mi jtf4486)
|
|
|
|
Электронные и ионные пучки, ускорители
Фокусировка ионного пучка при массопереносе с острия
Л. Э. Барьюдин, В. Л. Булатов, Д. А. Тельнов
Аннотация:
Рассмотрено влияние поляризации ионов в электрическом поле
на траектории их движения при массопереносе с острия. Показано,
что наличие у иона дипольного момента приводит к фокусировке пучка.
Исследован характер зависимости степени фокусировки от формы острия,
расстояния и разности потенциалов между острием и подложкой, а также
материала иглы и типа ионов. Полученные результаты говорят о возможности
использования эффекта фокусировки в установках для создания на поверхности
структур молекулярных размеров, например в наноэлектронике.
Образец цитирования:
Л. Э. Барьюдин, В. Л. Булатов, Д. А. Тельнов, “Фокусировка ионного пучка при массопереносе с острия”, ЖТФ, 61:11 (1991), 172–178
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4486 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i11/p172
|
|