|
Журнал технической физики, 1991, том 61, выпуск 1, страницы 179–180
(Mi jtf4136)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Ускорение диффузии ионноимплантированной примеси при больших дозах
Ю. В. Мартыненко, П. Г. Московкин
Образец цитирования:
Ю. В. Мартыненко, П. Г. Московкин, “Ускорение диффузии ионноимплантированной примеси при больших дозах”, ЖТФ, 61:1 (1991), 179–180
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4136 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v61/i1/p179
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 12 |
|