|
Журнал технической физики, 1990, том 60, выпуск 10, страницы 69–74
(Mi jtf4023)
|
|
|
|
Твердотельная электроника
Расчет МДП структуры с квазиодномерным электронным газом
С. В. Козырев, В. Ю. Осипов
Аннотация:
Полный расчет МДП структуры с квазиодномерным электронным газом в широком
диапазоне температур возможен лишь в результате решения специфической задачи
двумерного нелинейного экранирования. В области очень слабого обогащения
возможен приближенншй расчет распределения потенциала в структуре, так как
вклады неподвижных зарядов ионизованных доноров и подвижных зарядов носителей
удается разделить. На основе проведенных в больцмановской статистике расчетов
и при использовании ряда допущений проанализированы структуры на
высоколегированных подложках ($10^{17}\,\text{см}^{-3}$) с металлургической
шириной канала 0.5$-$0.6 мкм. Сделан вывод о возможности создания в режиме слабого обогащения сверхузких
квазиодномерных каналов и для делокализованных носителей.
Образец цитирования:
С. В. Козырев, В. Ю. Осипов, “Расчет МДП структуры с квазиодномерным электронным газом”, ЖТФ, 60:10 (1990), 69–74
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf4023 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v60/i10/p69
|
|