Пьезоэлектрические пленки для акустоэлектронных устройств: получение, свойства, области применения

Рассмотрены особенности получения пьезоэлектрических пленок ZnO, AlN и Ta$_{2}$O$_{5}$. Проведена теоретическая оценка минимально возможного коэффициента поглощения ПАВ в текстурированных пленках с учетом различных механизмов поглощения. Дано сравнение этих коэффициентов с аналогичными коэффициентами для монокристаллов тех же материалов. Предложены и экспериментально проверены методики расчета коэффициента поглощения и температурного коэффициента задержки (ТКЗ) для ПАВ Рэлея и ПАВ Сезава в слоистых структурах. Дан сравнительный анализ акустических характеристик слоистых структур на основе пленок ZnO, AlN и Ta$_{2}$O$_{5}$.