Ионная имплантация пленок железоиттриевого граната и ее влияние на распространение поверхностных магнитостатических волн

Проведен расчет параметров трехслойной структуры, образованной в результате имплантации пленок феррита-граната ионами водорода, гелия, бора, неона с энергиями до $10^{6}$ эВ. Экспериментально исследовано распространение поверхностных магнитостатических волн в пленках феррита, имплантированных ионами Н$^{+}$ с дозами до ${\sim10^{16}\,\text{см}^{-2}}$. Обнаружено, что имплантация приводит к уменьшению эффективной магнитной толщины пленки и снижению групповой скорости волн. Величина потерь распространения волн имеет максимум при определенной дозе имплантации и может значительно превышать потери в неимплантированных пленках. Подтверждено увеличение степени закрепления спинов на поверхности пленки с возрастанием дозы имплантации.