Конденсационно-сорбционная и сорбционная откачка при температурах твердого азота

Описаны экспериментальные результаты по откачке N$_{2}$, Н$_{2}$, Аr, CF$_{4}$ и других газов конденсатами паров H$_{2}$O, CCl$_{4}$ и активным углем СКТ при ${T\leqslant50}$ K. Приводятся конструкция сорбционного насоса, охлаждаемого твердым N$_{2}$, с диапазоном рабочих давлений $10^{1}{-}10^{-8}$ Па и быстротой действия 1.2 м$^{3}$/с по Аr, 2.8 м$^{3}$/с по H$_{2}$, 1.5 м$^{3}$/с по фреону-14 (CF$_{4}$) и его динамические и статические характеристики. Показана эффективность работы этого насоса в режиме чередующихся процессов плазмохимической обработки изделий в среде аргона, а также в среде других газов, в том числе и агрессивных, при давлениях напуска $10^{1}{-}10^{-2}$ Па и ниже с последующим получением сверхвысокого вакуума в рабочих камерах до ${P=10^{-5}\div10^{-7}}$ Па после прекращения напуска. Сделаны выводы о высокой работоспособности сорбционного крионасоса, охлаждаемого твердым N$_{2}$, для полностью безмасляной откачки напылительных, плазмохимических и других установок, где использование таких средств откачки, как диффузионные, турбомолекулярные, форвакуумные механические насосы, насосы Рутса и другие, по тем или иным причинам неприемлемо.