|
Журнал технической физики, 1988, том 58, выпуск 10, страницы 2026–2039
(Mi jtf3083)
|
|
|
|
Конденсационно-сорбционная и сорбционная откачка
при температурах твердого азота
М. П. Ларин
Аннотация:
Описаны экспериментальные результаты по
откачке N$_{2}$, Н$_{2}$, Аr, CF$_{4}$ и других газов конденсатами
паров H$_{2}$O, CCl$_{4}$ и активным углем СКТ при
${T\leqslant50}$ K. Приводятся конструкция сорбционного насоса, охлаждаемого
твердым N$_{2}$, с диапазоном рабочих давлений $10^{1}{-}10^{-8}$ Па
и быстротой действия 1.2 м$^{3}$/с по Аr, 2.8 м$^{3}$/с
по H$_{2}$, 1.5 м$^{3}$/с по фреону-14 (CF$_{4}$) и его динамические и статические
характеристики. Показана эффективность работы этого насоса в режиме
чередующихся процессов плазмохимической обработки изделий в среде аргона,
а также в среде других газов, в том числе и агрессивных, при давлениях напуска
$10^{1}{-}10^{-2}$ Па и ниже с последующим получением сверхвысокого вакуума
в рабочих камерах до ${P=10^{-5}\div10^{-7}}$ Па после прекращения
напуска. Сделаны выводы о высокой работоспособности сорбционного крионасоса,
охлаждаемого твердым N$_{2}$, для полностью безмасляной откачки напылительных,
плазмохимических и других установок, где использование таких
средств откачки, как диффузионные, турбомолекулярные,
форвакуумные механические насосы, насосы Рутса и другие,
по тем или иным причинам неприемлемо.
Образец цитирования:
М. П. Ларин, “Конденсационно-сорбционная и сорбционная откачка
при температурах твердого азота”, ЖТФ, 58:10 (1988), 2026–2039
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf3083 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v58/i10/p2026
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 30 | PDF полного текста: | 23 |
|