Методика исследования микродефектов в монокристаллах кремния на рентгеновском топографическом спектрометре ДТС-1

Описана методика получения рентгенотопографического изображения ростовых недекорированных микродефектов (кластеров) в бездислокационных монокристаллах кремния, выращенных зонной плавкой. В ее основе лежит двухкристальная схема ($n, {-}n$) с удержанием рабочей точки на «хвосте» кривой качания исследуемого кристалла. Съемка реализуется на топографическом спектрометре ДТС-1 с помощью простой автоматической системы фиксации рабочей точки.