|
Журнал технической физики, 1983, том 53, выпуск 7, страницы 1402–1403
(Mi jtf2458)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Эффект фототравления позитивных резистов при воздействии мощного
импульсного рентгеновского излучения лазерной плазмы
В. А. Бойко, А. Я. Вайнер, С. А. Киреева, В. Ф. Лиманова, И. Ю. Скобелев, А. Я. Фаенов, С. Я. Хахалин
Образец цитирования:
В. А. Бойко, А. Я. Вайнер, С. А. Киреева, В. Ф. Лиманова, И. Ю. Скобелев, А. Я. Фаенов, С. Я. Хахалин, “Эффект фототравления позитивных резистов при воздействии мощного
импульсного рентгеновского излучения лазерной плазмы”, ЖТФ, 53:7 (1983), 1402–1403
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2458 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v53/i7/p1402
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 44 | PDF полного текста: | 22 |
|