|
Журнал технической физики, 1983, том 53, выпуск 4, страницы 626–634
(Mi jtf2271)
|
|
|
|
Плазма
Исследование функции распределения электронов по энергиям в плазме
высокочастотного разряда в смеси инертных газов
С. Д. Вагнер, Б. К. Игнатьев
Аннотация:
Измерены функции распределения электронов по энергиям
(ФРЭЭ) в плазме высокочастотного (ВЧ) разряда в смеси неона с аргоном.
Рассчитаны скорости различных процессов ионизации и энергетические потери
электронов в объеме. Проведено сравнение экспериментально полученных ФРЭЭ
с рассчитанными по нелокальной теории. Проведено экспериментальное
исследование влияния ВЧ напряжения в зондовой цепп на измерение ФРЭЭ.
Образец цитирования:
С. Д. Вагнер, Б. К. Игнатьев, “Исследование функции распределения электронов по энергиям в плазме
высокочастотного разряда в смеси инертных газов”, ЖТФ, 53:4 (1983), 626–634
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2271 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v53/i4/p626
|
|