Журнал технической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ЖТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Журнал технической физики, 1983, том 53, выпуск 3, страницы 601–603 (Mi jtf2265)  
Краткие сообщения

Коротковолновая УФ фотолитография на основе сильноточных плазмодинамических разрядов магнитоплазменного компрессора

Н. П. Козлов, А. С. Камруков, Г. Н. Кашников, В. К. Орлов, Ю. С. Протасов, И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, А. Н. Якименко
PDF полного текста (2056 kB)
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Н. П. Козлов, А. С. Камруков, Г. Н. Кашников, В. К. Орлов, Ю. С. Протасов, И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, А. Н. Якименко, “Коротковолновая УФ фотолитография на основе сильноточных плазмодинамических разрядов магнитоплазменного компрессора”, ЖТФ, 53:3 (1983), 601–603
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KozKamPro83}
\by Н.~П.~Козлов, А.~С.~Камруков, Г.~Н.~Кашников, В.~К.~Орлов, Ю.~С.~Протасов, И.~Н.~Рубцов, В.~В.~Ульянов, А.~Н.~Якименко
\paper Коротковолновая УФ фотолитография
на основе сильноточных плазмодинамических разрядов
магнитоплазменного компрессора
\jour ЖТФ
\yr 1983
\vol 53
\issue 3
\pages 601--603
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jtf2265}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf2265
  • https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v53/i3/p601
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Журнал технической физики Журнал технической физики
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024