|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 11, страницы 2263–2266
(Mi jtf2066)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Резистометрический метод исследования кинетики процессов ионной
имплантации
В. К. Васильев, В. Н. Новожилов, П. В. Павлов Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского
Поступила в редакцию: 18.05.1983 Исправленный вариант: 18.12.1983
Образец цитирования:
В. К. Васильев, В. Н. Новожилов, П. В. Павлов, “Резистометрический метод исследования кинетики процессов ионной
имплантации”, ЖТФ, 54:11 (1984), 2263–2266
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf2066 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i11/p2263
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 34 | PDF полного текста: | 14 |
|