Исследование свойств структур Si$-$Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$

Исследованы оптические и электрические свойства пленок сегнетоэлектрика Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$, напыленных методом реактивного распыления на кремниевую подложку. Пленки обладают высокими значениями диэлектрической проницаемости и показателя преломления. Гистерезис вольт-фарадных характеристик определяется зависящими от времени явлениями обмена носителями зарядов между кремнием и ловушками в запрещенной зоне пленок Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$.