Одновременное определение электростатического заряда и параметров диэлектрических слоевhttps://edit.mathnet.ru/mac_icons/add_srow_p.gif

Рассматривается возможность одновременного определения электростатического заряда, толщины, диэлектрической проницаемости слоя, а также расстояния от слоя до зонда и его вариаций методом электростатической индукции. Анализируются два способа формирования электрических сигналов в цепи зонда с применением параметрической модуляции, основанные соответственно на возбуждении в системе квазистатического поля нескольких частот или одной частоты. Для двух простых случаев составлены и решены системы алгебраических уравнений. Искомые параметры выражены через амплитуды и частоты возбуждающих и индуцированных напряжений и токов. Оценены погрешности определения параметров квазистатической электрической системы, обсуждается структурная схема экспериментальной установки, реализующая многочастотный вариант метода.