|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 7, страницы 1408–1410
(Mi jtf1899)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Двухдлинноволновый лазерный отжиг полупроводников
Ю. В. Ковальчук, В. И. Кучинский, В. Е. Мячин, И. А. Соколов, В. И. Скопина Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Поступила в редакцию: 21.11.1983
Образец цитирования:
Ю. В. Ковальчук, В. И. Кучинский, В. Е. Мячин, И. А. Соколов, В. И. Скопина, “Двухдлинноволновый лазерный отжиг полупроводников”, ЖТФ, 54:7 (1984), 1408–1410
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1899 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i7/p1408
|
|