|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 6, страницы 1128–1132
(Mi jtf1823)
|
|
|
|
Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. II
С. А. Никишин Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Аннотация:
Проведен анализ распределения температуры вдоль фронта
кристаллизации при селективной безмасочной электрожидкостной эпитаксии (ЭЖЭ).
Продемонстрированы новые возможности ЭЖЭ в управлении профилем
поверхности выращиваемых эпитаксиальных слоев.
Поступила в редакцию: 02.04.1983
Образец цитирования:
С. А. Никишин, “Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. II”, ЖТФ, 54:6 (1984), 1128–1132
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1823 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i6/p1128
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 50 | PDF полного текста: | 34 |
|