|
Журнал технической физики, 1984, том 54, выпуск 5, страницы 938–942
(Mi jtf1788)
|
|
|
|
Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. I
С. А. Никишин Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград
Аннотация:
Описаны новые конструкции кассет для электрожидкостной
эпитаксии. Сформулированы принципы конструирования электродов в эти
устройства. Продемонстрированы новые возможности электрожидкостной эпитаксии
в управлении параметрами эпитаксиальных слоев.
Поступила в редакцию: 20.04.1983 Исправленный вариант: 28.09.1983
Образец цитирования:
С. А. Никишин, “Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. I”, ЖТФ, 54:5 (1984), 938–942
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jtf1788 https://www.mathnet.ru/rus/jtf/v54/i5/p938
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 43 | PDF полного текста: | 27 |
|